Fabricant et spécialiste du guidage linéaire, Hepcomotion a accompagné Riber afin d'améliorer certains équipements extrêmement sophistiqués
La société française Riber est le premier fournisseur mondial d'équipements d'épitaxie par jets moléculaires (MBE) pour la dépose de cristaux dans la fabrication de semi-conducteurs à haute performance. Pour ces équipements d'une précision extrême, Riber utilise désormais des galets et rails Hepcomotion afin d'assurer le réglage de la précontrainte qui élimine tous les jeux dans le mécanisme. Cette solution a permis d'obtenir une bien meilleure fiabilité et répétabilité.
Le procédé dit " MBE " utilisé dans la production de dispositifs électroniques nécessite la manipulation et le positionnement avec précision de plaquettes de silicium à l'intérieur d'une enceinte sous vide poussé. En soi, ce processus met en évidence un certain nombre de défis en matière de précision et de fluidité des mouvements, tout cela dans un milieu à 10-9 mbar. Lorsque les ingénieurs de Riber ont été chargés d'améliorer leur système de positionnement, ils se sont tournés vers Hepcomotion et ses galets pour le vide. Ces produits, totalement en acier inoxydable, s'étaient déjà révélés particulièrement efficaces dans les applications sous vide jusqu'à 10-6 mbar.
Eviter toute contamination
Pour atteindre le vide plus élevé exigé par Riber, Hepcomotion a utilisé une graisse à vide spéciale dans des roulements étanches. Cela permet au produit de fonctionner à des vides plus poussés pendant des périodes prolongées sans crainte de panne. Dans les opérations de transfert de wafer (plaque de semi-conducteur), la course peut varier. La configuration a été optimisée pour fournir à Riber une solution simple à installer.
Il fallait absolument un système à faible friction pour éviter la corrosion de contact apparaissant lorsque des aciers inoxydables sont en contact à sec. Par ailleurs, toute contamination dans l'enceinte compromettrait le processus, conduisant à un défaut sur les wafers. La solution standard retenue fait appel à des rails SL2 sans talon (SSM44 x 1000mm) avec deux galets VACSS SJ34C et deux galets VACSS SJ34E fixés sur un chariot spécial entraîné par crémaillère. Seul un rail en V Hepcomotion a été en mesure de fournir le niveau de confiance recherché pour satisfaire cette application si particulière.
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