Contrôle de mouvement : cinq étapes pour concevoir des systèmes industriels haute performance - Par Brian Fink, chef de produit, Produits Mécaniques, chez Aerotech, Inc

De la fabrication des semi-conducteurs à la métrologie de précision, Aerotech explique comment optimiser la répétabilité, la budgétisation des erreurs, les architectures de commande et le choix des composants

  • Contrôle de mouvement industriel haute performance - Aerotech
    Contrôle de mouvement industriel haute performance - Aerotech
  • Brian Fink, Product Manager, Aerotech Inc.
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Dans les secteurs industriels les plus exigeants d'aujourd'hui, la précision ne se mesure plus en millimètres, ni même en microns, mais de plus en plus en nanomètres. Qu'il s'agisse d'aligner des plaquettes de semi-conducteurs, de positionner des optiques destinées à l'inspection, d'assembler des dispositifs médicaux miniatures ou de coordonner des opérations de perçage laser dans la production électronique, la marge d'erreur ne cesse de se réduire.

Dans le même temps, les industriels subissent une pression constante pour améliorer leur productivité, réduire le gaspillage et raccourcir les délais de mise sur le marché. Le défi ne consiste plus seulement à atteindre un niveau de précision supérieur, mais à y parvenir plus rapidement, tout en maîtrisant les coûts.

Les systèmes de contrôle de mouvement haute performance sont devenus un élément clé de cette équation. De la lithographie des semi-conducteurs et du conditionnement avancé à l'automatisation des sciences de la vie, en passant par la fabrication optique et la métrologie de précision, les plateformes de mouvement constituent désormais un élément central de la qualité et des performances des procédés industriels.

Toutefois, parvenir à une solution optimale ne consiste pas simplement à sélectionner la platine la plus précise ou le contrôleur le plus rapide. Les ingénieurs doivent comprendre comment la précision est définie, comment les erreurs s'accumulent au sein des architectures multiaxes et comment la mécanique, les systèmes de commande et l'expertise des fournisseurs interagissent pour déterminer les performances globales du système.

Cinq principes essentiels présentés par Aerotech permettent d'adopter une approche méthodique de cette démarche.

Comprendre la précision, la répétabilité et les erreurs de mouvement

Lors de l'évaluation des systèmes de mouvement de précision, les termes « précision » et « répétabilité » sont souvent considérés comme interchangeables, mais ils décrivent des caractéristiques de performance très différentes. La précision fait référence à la proximité avec laquelle un système atteint la position cible prévue, tandis que la répétabilité reflète la constance avec laquelle il revient à cette même position sur plusieurs cycles, même en s'approchant depuis des directions ou des points de départ différents.

Dans la plupart des applications industrielles réelles, la répétabilité est le paramètre le plus important. Pour améliorer la précision globale, il est possible de calibrer un système hautement répétable à l’aide d’une cartographie des erreurs. En revanche, une mauvaise répétabilité ne peut être corrigée par le seul calibrage. Cette distinction est particulièrement importante dans les tâches de production à haut débit telles que le perçage de circuits imprimés, le micro-assemblage automatisé ou les diagnostics in vitro, où plusieurs milliers de mouvements identiques doivent être exécutés avec une parfaite constance. Dans ces cas, une répétabilité stable affecte directement le rendement et la capacité du processus.

Les ingénieurs doivent également tenir compte des erreurs hors axe. Un chariot linéaire ne se déplace pas uniquement dans une seule direction ; il peut également subir des écarts de rectitude, ainsi que des mouvements de roulis, de tangage et de lacet. Ces erreurs géométriques deviennent particulièrement significatives lorsque le point de mesure est décalé par rapport à l'emplacement du capteur de rétroaction, ce qui crée une erreur d'Abbe.

Même des écarts angulaires minimes peuvent générer des erreurs de positionnement importantes au point de travail. Dans l'inspection des plaquettes de semi-conducteurs, l'alignement optique ou la métrologie de précision, par exemple, ces effets peuvent rapidement dépasser les tolérances acceptables.

Il est tout aussi important de comprendre comment les fournisseurs spécifient ces valeurs. La diversité des normes et des méthodes de mesure peut rendre les comparaisons entre catalogues trompeuses. Dans ce contexte, des méthodes de spécification transparentes et la communication des performances dans le pire des cas offrent une bien plus grande confiance que les chiffres présentés en tête de liste.

Utiliser la budgétisation des erreurs pour prédire les performances réelles

À mesure que les systèmes gagnent en complexité, la précision doit être conçue au niveau du système. Une plate-forme de mouvement à six axes peut comporter 36 sources potentielles d'erreur de positionnement, car chaque axe peut s'écarter dans les six degrés de liberté. Le simple fait de sélectionner des axes individuels hautement performants ne garantit pas que la machine finale répondra aux besoins du processus. C'est là que la budgétisation systématique des erreurs devient essentielle.

La budgétisation des erreurs est le processus structuré consistant à identifier, calculer et pondérer toutes les sources d'erreur individuelles au sein de la machine complète. Elle inclut la précision sur l'axe, la rectitude, les écarts angulaires, l'alignement des axes et les effets thermiques, ainsi que les décalages mécaniques entre le système de mouvement et le point de fonctionnement. 

L'objectif est d'estimer l'incertitude de position totale dans l'espace cartésien avant la construction de la machine. Cette approche s'avère particulièrement utile dans des applications telles que le conditionnement de pointe, le collage hybride, le micro-usinage au laser et l'inspection optique multiaxiale, où plusieurs axes coordonnés doivent fonctionner simultanément avec une précision de l'ordre du nanomètre.

Si le budget d'erreur prévu ne répond pas aux exigences du processus, les ingénieurs peuvent apporter des améliorations sans avoir à repenser l'ensemble de la machine. Des modifications simples, telles que le rapprochement du point de travail du centre de l'axe, la réduction de la course, l'amélioration de l'alignement ou l'utilisation de méthodes de compensation avancées, permettront probablement d'obtenir de bien meilleurs résultats.

La budgétisation des erreurs aide les ingénieurs à prendre des décisions éclairées dès le début du processus de conception, en trouvant un équilibre entre la précision atteignable, le coût et la complexité, plutôt que de découvrir les limites lors de la mise en service.

Adapter les roulements et les entraînements à l'application

Il n'existe pas de plate-forme de mouvement universelle pour toutes les applications de précision. Le choix des roulements et des mécanismes d'entraînement dépend entièrement des priorités du processus, telles que la vitesse, la rigidité et la course, ainsi que de la propreté et de la précision requise.

Pour les systèmes de roulements, les roulements à recirculation de billes constituent souvent l'option la plus rentable pour les courses longues et les déplacements rapides d'un point à un autre. Ils sont largement utilisés dans l'assemblage électronique, le conditionnement et l'automatisation industrielle générale, où la robustesse et la productivité sont des priorités.

Les roulements à rouleaux croisés offrent une meilleure précision géométrique et une rigidité accrue, ce qui les rend adaptés aux applications à course moyenne telles que la fabrication optique, l'assemblage de précision et les systèmes d'inspection.

Lorsque la qualité de mouvement la plus élevée est requise, les paliers à air offrent une fluidité et des performances géométriques exceptionnelles en maintenant un film d'air contrôlé avec précision entre les surfaces. Ils s'avèrent particulièrement précieux dans des tâches telles que l'inspection de plaquettes, la lithographie, la métrologie avancée et la production d'optiques de haute précision, où même des vibrations ou des frottements microscopiques peuvent avoir un impact sur les résultats.

Le choix de l'entraînement est tout aussi important. Les entraînements indirects, tels que les vis à billes et les systèmes à courroie, restent efficaces pour de nombreuses applications car ils offrent une transmission de force élevée, une bonne stabilité et un coût initial réduit. Ils sont couramment utilisés dans les axes verticaux, l'automatisation médicale et les systèmes industriels plus lourds.

Les systèmes à entraînement direct, notamment les moteurs linéaires et les moteurs couple, éliminent les composants de transmission mécanique et évitent ainsi le jeu, l'usure et de nombreuses opérations de maintenance. Ils offrent une vitesse, une accélération et une qualité de positionnement supérieures, ce qui les rend idéaux pour la manipulation de semi-conducteurs, le traitement laser et l'alignement photonique à grande vitesse.

Bien que les entraînements directs impliquent un investissement initial plus élevé, de nombreux fabricants parviennent à réduire le coût total de possession grâce à un débit accru, une maintenance réduite et un rendement amélioré.

Dans la pratique, les systèmes hybrides constituent souvent la meilleure solution ; par exemple en combinant des entraînements directs sur les axes critiques avec des vis à billes sur les axes verticaux.

Considérer le contrôleur comme le véritable moteur des performances

Même la meilleure mécanique ne peut compenser une architecture de contrôle médiocre. Le contrôleur détermine l'efficacité avec laquelle le système utilise la précision mécanique disponible. Dans la fabrication haute performance, cela implique des taux de rétroaction élevés, un faible niveau de bruit, un contrôle précis de la trajectoire et un réglage intelligent des servomoteurs.

Dans des applications telles que le perçage par laser, la fabrication additive ou la production d'écrans plats, la qualité de la trajectoire est essentielle. Les mouvements circulaires, en spirale et basés sur des contours doivent être exécutés rapidement sans sacrifier la précision. Si les taux de rétroaction sont trop faibles, les trajectoires se dégradent en mouvements segmentés, ce qui entraîne des vitesses plus lentes et une productivité réduite. Des taux de mise à jour de trajectoire plus élevés et l'interpolation spline permettent des mouvements plus rapides et plus fluides avec une meilleure fidélité de la trajectoire.

Le choix de l'amplificateur est également déterminant. Les amplificateurs linéaires offrent un bruit de sortie extrêmement faible et une excellente stabilité de position, ce qui les rend particulièrement adaptés aux applications nanométriques et subnanométriques telles que la métrologie des semi-conducteurs, l'inspection optique et la fabrication d'appareils médicaux ultrasensibles. Les amplificateurs PWM sont plus compacts et plus économiques, mais le bruit de commutation peut constituer une contrainte dans les tâches exigeant une précision extrême. De nombreux fabricants tirent parti de la combinaison de ces deux technologies au sein d'une même machine, en recourant à l'amplification linéaire uniquement lorsque la stabilité absolue est essentielle.

Le réglage avancé des servomoteurs est un facteur majeur de productivité. Des outils de réglage intelligents améliorent le suivi de trajectoire, les performances de réponse en pas et en assiette ainsi que la suppression des vibrations, aidant ainsi les systèmes à atteindre à la fois vitesse et précision.

Des fonctionnalités telles que la sortie synchronisée en position, les routines de recherche automatisées et le retour de force intégré viennent renforcer les applications allant du découpage de plaquettes et de l'alignement de fibres à la fabrication de dispositifs cardiovasculaires et aux systèmes d'inspection à grande vitesse.

Faire du fournisseur un partenaire technologique à long terme

Les systèmes de mouvement de précision sont rarement une réussite lorsqu'ils sont achetés uniquement sur catalogue. Dans la fabrication de pointe, les exigences sont souvent trop spécifiques pour des solutions standard, en particulier lorsque la compatibilité avec les salles blanches, le fonctionnement sous vide, le contrôle de la force ou la synchronisation multiaxiale sont en jeu. Cela fait de la collaboration avec le fournisseur une décision stratégique plutôt qu'un simple exercice d'approvisionnement.

Un partenaire solide en contrôle de mouvement doit d'abord s'attacher à comprendre le processus lui-même : qu'est-ce qui définit le succès, où les tolérances sont-elles les plus strictes, quels compromis sont les plus importants, et comment le système devra-t-il évoluer de la R&D à la production à grande échelle ? Chez Aerotech, cela implique de collaborer étroitement avec les clients dès les premières étapes de développement afin de garantir que le mouvement ne soit jamais un facteur limitant. Par exemple, un système d'alignement photonique développé pour la validation en laboratoire peut par la suite devoir prendre en charge un conditionnement automatisé à haut volume. Une plateforme de diagnostic médical peut nécessiter une extension future avec des axes supplémentaires ou une capacité d'inspection intégrée. Concevoir dès le départ en tenant compte de l'évolutivité permet d'éviter des modifications coûteuses.

La personnalisation fait souvent la différence entre des performances acceptables et des performances optimales. Cela peut impliquer des platines spécialisées pour les salles blanches ou les environnements sous vide, un contrôle de force intégré pour les processus d'emballage délicats, ou des systèmes multiaxiaux configurés pour minimiser les décalages d'Abbe et améliorer les performances géométriques. Si un produit standard ne convient pas, Aerotech peut fournir des composants de mouvement spécialisés et des systèmes complets s'appuyant sur des décennies d'expertise en ingénierie de précision, y compris des solutions pour le fonctionnement sous vide et en salle blanche.

L'accès aux tests d'application, aux diagnostics et à l'assistance est tout aussi important. La validation de la preuve de concept, l'analyse comparative des performances et l'assistance au réglage à distance ou sur site peuvent réduire considérablement les risques liés à la mise en œuvre et accélérer la mise en service. Les capacités d'analyse de pointe d'Aerotech et ses laboratoires d'application bien équipés aident les clients à valider leurs concepts avant la mise en service des machines, ce qui réduit les risques techniques et renforce la confiance dans les performances du système.

Pour les fabricants opérant à l'échelle mondiale, l'assistance doit également s'étendre au-delà de l'installation. L'assistance technique et les services d'Aerotech s'étendent sur tous les continents, aidant les clients à passer avec succès des environnements de R&D à la production à grande échelle. Les meilleures relations avec les fournisseurs reposent sur la transparence technique et une collaboration à long terme plutôt que sur des ventes ponctuelles d'équipements.

Trouver le bon équilibre entre précision, vitesse et coût

Grâce à ces cinq étapes, les ingénieurs peuvent aborder la conception des systèmes avec beaucoup plus d'assurance. Cela est essentiel car la fabrication de pointe continue de repousser les tolérances vers l'échelle micro et nanométrique, le contrôle de mouvement devenant moins une technologie de soutien qu'un avantage concurrentiel fondamental.

L'objectif ultime n'est pas simplement d'atteindre une précision maximale, mais de trouver le juste équilibre entre précision, vitesse et coût pour l'application. C'est la capacité à atteindre cet équilibre qui définira la prochaine génération d'automatisation industrielle.

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