Caméras infrarouges à caractérisation thermique des micro structures

Silver 660M de Flir Systems

  • par FLIR
  • 1 janvier 2009
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  • Caméras infrarouges à caractérisation thermique des micro structures
    Caméras infrarouges à caractérisation thermique des micro structures

Les systèmes thermiques infrarouges à haute résolution Silver 660M sont utilisés pour fournir des informations détaillées et précises du comportement thermique statique et dynamique des composants et des micro structures telles que les MEMS, Micro-Electro-Mechanical Systems. Ces caméras infrarouges de recherche et développement de dernière génération utilisent des détecteurs au pas de 15μm. Le détecteur à haute résolution mis en oeuvre (640x512, 15 μm) est de mêmes dimensions que celui utilisé dans les caméras de la génération précédente (320x256, 30 μm) laissant inchangé le dimensionnement des objectifs et du refroidisseur à cycle fermé (Stirling). Le modèle Silver 660M HS travaillant dans la bande spectrale MWIR (2-5 μm) incorpore un détecteur InSb de nouvelle génération et utilise les objectifs microscopes G1 et G3 conçus pour la famille Jade. Dans le cadre d'étude thermique sur de micro structures, une résolution spatiale d'observation (IFOV) de 3,5 μm est possible.

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