Axes de rotation de haute précision sur coussin d'air

Afin de satisfaire aux exigences de charges utiles et de volumes à positionner pour l'utilisation en tant que table autonome ou en tant que membre d'un système multi axes ou d'une machine intégrée, la nouvelle gamme de tables de positionnement en rotation très haute précision ABRX d’Aerotech est disponible avec différents axes de rotation aux diamètres 100, 150 et 250 mm. Les ABRX sont donc particulièrement appropriés pour satisfaire aux besoins de positionnement dans les domaines de l'inspection de wafers, pour la fabrication et la métrologie des optiques, de l'inspection et de la fabrication optiques ou encore la fabrication de MEMS ou de composants de nanotechnologie.

Une importante réduction des erreurs radiales et axiales

La nouvelle série ABRX utilise l'entraînement direct, ce qui permet d'atteindre des vitesses de rotation de jusqu'à 300 tours/min. Le design des paliers à air permet la réduction des erreurs radiales et axiales, jusqu'à une valeur de 25 nanomètres. Aussi les erreurs peuvent être différenciées en erreurs synchrones et asynchrones. Les erreurs synchrones sont les erreurs qui surviennent périodiquement avec la rotation de l'axe. Les utilisateurs ont la possibilité de mesurer l'erreur répétable, de l'enregistrer et de la compenser en direction axiale via un axe Z ou en direction radiale via un axe X, ou de corriger les valeurs de mesure de manière correspondante.
Les erreurs asynchrones par contre doivent plutôt être considérées comme bruit de position et ne peuvent pas simplement être corrigées. La compensation des erreurs synchrones permet toutefois de réduire les erreurs radiales et axiales de nettement en-dessous de 10 nm. Ainsi, la série ABRX est particulièrement appropriée pour des mesures de surfaces à l'échelle nanométrique et naturellement aussi en tant qu'extension pour la plateforme de mesure Aerotech SMP éprouvée.